近日,嘉定综保区内企业上海拜安半导体有限公司6英寸MEMS光纤传感器芯片特色生产线投产试运营,并成功生产出MEMS光纤加速度传感器、MEMS光纤压力传感器等多款产品,为推动国内MEMS传感器的高质量国产化发展奠定良好基础。
拜安半导体由拜安科技和嘉定综保区公司共同投资,于2022年2月成立。拜安半导体产线拥有全套体硅机械、表面微机械、光学与光纤器件等加工能力,以及芯片封装与可靠性验证等测试手段。其独立厂房面积超过8100平方米,厂房超净间面积超3000平方米。产线投产后,拜安半导体除了满足拜安科技对MEMS光纤传感器芯片的需求,未来还将对外开放MEMS光纤传感器芯片研发生产,每年研发生产芯片晶圆10000-15000片。
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