晶盛机电：第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展

浙江晶盛机电股份有限公司(以下简称“昌盛机电”或“公司”)发布了投资者关系活动记录表。具体内容如下：

1、公司基本业务情况介绍。

答：公司是国内领先的半导体材料装备和LED衬底材料制造的高新技术企业，以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为使命，围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料开发出一系列关键设备，并适度延伸到材料领域。在硅材料领域，公司开发出了应用于光伏和集成电路领域两大产业的系列关键设备，包括全自动晶体生长设备(单晶生长炉、区熔硅单晶炉、多晶铸锭炉)、晶体加工设备(单晶硅滚磨机、截断机、开方机、金刚线切片机等)、晶片加工设备(晶片研磨机、减薄机、抛光机、外延设备、LPCVD设备等)、叠瓦组件设备等;在碳化硅领域，公司的产品主要有碳化硅长晶设备及外延设备;在蓝宝石领域，公司可提供满足LED照明衬底材料和窗口材料所需的蓝宝石晶锭和晶片。同时，公司还建立了以高纯石英坩埚、抛光液及半导体阀门、管件、磁流体、精密零部件为主的产品体系以配套半导体关键零部件、辅材耗材方面的需求。公司产品主要应用于集成电路、太阳能光伏、LED、工业4.0等具有广阔发展前景的新兴产业。

公司在赛道上的选择整体来说更宽了，目前这几大业务板块的发展和前景都比较良好。公司在光伏产业链装备取得了行业认可的技术和规模双领先的地位，在8-12英寸大硅片设备领域，公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等晶片材料环节已基本实现8英寸设备的全覆盖和国产化替代，12英寸长晶设备及部分加工设备也已实现批量销售，产品质量已达到国际先进水平。蓝宝石材料方面，公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术已达到国际领先水平，目前已成功生长出全球领先700Kg级蓝宝石晶体，建立了规模化生产基地，是掌握核心技术及规模优势的龙头企业。公司碳化硅外延设备已通过客户验证，同时在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节已规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，加快推进第三代半导体材料碳化硅业务的前瞻性布局。

2、如何看待蓝宝石材料后续的市场需求?公司在蓝宝石材料领域的布局如何?宁夏鑫晶盛的进展如何?

答：蓝宝石材料是现代工业重要的基础材料，由于其具备强度大、硬度高、耐腐蚀等特点，被广泛应用于LED衬底、消费电子产品保护玻璃、航空航天装备以及医疗植入品等领域。近年来，随着蓝宝石材料成本的不断下降，蓝宝石在消费电子领域的应用不断增加。蓝宝石作为优质的LED衬底材料，随着MiniLED为代表的新型显示技术的发展，蓝宝石材料也逐步打开新的应用市场。应用端的进一步打开需要产业链上下游一起推动，公司对于目前的市场需求持乐观态度。在蓝宝石领域，公司可提供满足LED照明衬底材料和窗口材料所需的蓝宝石晶锭和晶片。公司拥有国际领先的超大尺寸蓝宝石晶体生长技术，建立了从长晶到切磨抛环节的生产能力，目前已成功生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体。公司建立了规模化生产基地，是掌握核心技术及规模优势的龙头企业。

公司与消费电子视窗防护领域的制造龙头蓝思科技合作，成立宁夏鑫晶盛电子材料公司，从事蓝宝石材料的生产及加工，为蓝宝石材料在消费电子应用领域的规模应用提前布局。目前宁夏鑫晶盛的建设工作有序推进中，厂房建设和设备进场按预期计划顺利进行。

3、请介绍公司单晶炉在技术和配套服务能力上的优势?

答：公司始终坚持以技术创新作为公司持续发展的源动力，持续加强研发投入，在晶体生长领域，对于长晶工艺的理解比较深入，包括对于长晶的热场和物理过程的理解，不断推动行业技术的发展。公司单晶炉性能上优势明显，包括单台产能、自动化程度等，按照客户总体的拥有成本和运营成本来计算，我们提供给客户的价值量优。

同时，公司拥有一支专业的服务管理团队，几百人的工程安装和售后服务队伍，设备维护技术型人才超过80%。设立客户服务中心，贴近客户服务，实现2H需求响应，24H上门售后服务，提供技术支持和客户端培训服务，通过精进的专业能力和超越客户需求的服务，实现客户设备价值最大化。

公司在光伏产业链装备上取得了行业认可的技术和规模双领先的地位。

4、请介绍公司发展战略规划?

答：公司坚持以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为企业使命，将继续贯彻“先进材料、先进装备”的发展战略，抓住碳中和背景下全球光伏需求增长和大尺寸技术迭代带来的扩产需求，把握半导体设备国产化进程加快的历史机遇和新能源车等多领域需求拉动的sic产业高速增长，迎接MiniLED和消费电子窗口带来的新增长，围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料深入布局核心装备和材料，同时系统化的配套半导体关键零部件、辅材耗材方面的需求。

加快推进国际化战略，积极强化企业组织能力的建设，招募优秀人才，整合资源，驱动技术和管理创新，确保公司竞争力的可持续性，保障公司战略的落地，将公司打造成全球技术及规模领先的半导体材料装备和高端晶体材料生产商和设备服务商。

5、请介绍公司能穿越光伏设备周期的优势?

答：1)公司研发基因强，始终坚持以技术创新作为公司持续发展的源动力，持续加强研发投入，强化研发人员和核心业务骨干的培养，驱动技术创新，确保公司竞争力的可持续性。2)公司重视企业文化和组织能力的建设。公司成立十五年来始终坚持以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为企业使命，建立了强有力的企业文化及组织。3)公司重视管理能力的提升，公司创建技术与规模双领先的质量管理模式，实施“稳健批量”和“柔性快速”双模制造管理模式，持续强化精益生产和全流程质量管理。4)公司与业内知名的上市公司或大型企业保持了长期的战略合作关系，彼此建立了深厚的互信合作，共同促进行业快速发展。公司品牌影响力和客户优势进一步提升，对公司开拓下游市场产生积极影响。

6、请介绍公司目前手订单情况和交货周期?公司产能是否能满足客户需求?

答：2021年第一季度，公司新签订晶体生长设备和智能化加工设备订单超过50亿元。截至2021年3月31日，公司未完成晶体生长设备及智能化加工设备合同总计104.5亿元，其中未完成半导体设备合同5.6亿元(以上合同金额均含增值税)。公司产品种类较多，不同产品交货周期不同，主要在3-6个月左右。公司订单签订的交付周期是与下游客户的扩产进度相匹配的，公司已提前做好产能评估，适时适量扩充产能，布局好配套供应链，目前公司的产能能够满足客户订单需求。

7、公司半导体设备研发、验证和销售情况?

答：公司持续推进半导体装备和辅材耗材的新产品研发和市场推广工作，完善了以单晶硅生长、切片、抛光、外延四大核心装备为主的半导体硅材料设备体系，目前基本实现8英寸晶片端长晶到加工的全覆盖，且已实现量产和批量出货;12英寸单晶硅生长炉、滚磨设备、截断设备、研磨设备、边缘抛光设备已通过客户验证，并取得良好反响，12英寸单晶硅生长炉及部分加工设备已实现批量销售，其他加工设备也陆续客户验证中。

8、公司在半导体关键辅材耗材方面的布局如何?在石英坩埚上的研发进展和市场开拓情况如何?

答：在半导体关键辅材耗材方面，公司坚持自主研发与对外技术合作相结合，建立了以高纯石英坩埚、抛光液及半导体阀门、管件、磁流体、精密零部件为主的产品体系，建立了国内领先的半导体设备精密加工制造基地，借助客户渠道优势，完善产业链配套服务体系，加强关键辅材耗材的市场推广力度，公司半导体辅材耗材业务取得快速增长。

公司半导体石英坩埚在研发和市场开拓方面取得积极进展，已向客户批量销售32英寸合成坩埚，并研发了36英寸石英坩埚。目前公司的半导体石英坩埚在大陆及台湾市场份额增长较快，并争取向海外其他市场开拓业务。

9、如何看待碳化硅市场?公司在碳化硅领域的规划如何?

答：碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，具有高禁带宽度、高电导率、高热导率等优越物理特征。碳化硅衬底是宽禁带半导体的核心材料，以其制作的器件具有耐高温、耐高压、高频、大功率、抗辐射等特点，具有开关速度快、效率高的优势，可大幅降低产品功耗、提高能量转换效率并减小产品体积。主要应用于以5G通信、航空航天为代表的射频领域和以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域，具有明确且可观的市场前景。碳化硅衬底制作的技术门槛较高，良率低，成本较高制约其发展，导致行业的整体产能远不及市场需求。目前国内在技术和规模上都与国际头部企业存在很大的差距，公司近年布局的第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展，成功生长出6英寸碳化硅晶体，公司将持续加强碳化硅长晶工艺和技术的研发和优化，并做好研产转化，建立生长、切片、抛光测试线，在量产过程中逐步打磨产品质量，掌握纯熟工艺和技术。

(关键字：半导体)